Atomic Layer Etching; ALE; Inductively Coupled Plasma etching; ICP RIE; AlGaN; GaN;
机译:蚀刻诱导的掺杂P型GaN的抗损伤及其通过低偏压电感耦合等离子体反应离子蚀刻的抑制
机译:通过电感耦合等离子体反应离子刻蚀在Al_2O_3和Y_2O_3层中制备低损耗沟道波导
机译:低功率电感耦合等离子体制造的反应离子蚀刻诱导损伤反应离子蚀刻损伤的评价与减轻
机译:电感耦合等离子体反应离子刻蚀(ICP-RIE)对补偿结构辅助凸角和凹角结构刻蚀的研究
机译:用于电子材料蚀刻的高密度电子回旋共振和感应耦合等离子体源的比较:电子材料的新等离子体蚀刻方案。
机译:掺杂或量子点层作为使用反射各向异性光谱(RAS)的III / V半导体反应离子蚀刻(RIE)的原位蚀刻静止指示器
机译:Si的低温集合原子层蚀刻具有无损伤表面的下一代原子级电子器件
机译:电感耦合等离子体反应离子蚀刻(ICp-RIE):用于高分辨率图案转移的纳米加工工具