FEM; RF MEMS; TSV; bump-CPW-bump; interconnection; transition;
机译:微电子和MEMS结构以及封装器件中的表面和界面处的粘附-剥离现象
机译:IC封装中典型互连结构的界面传热特性:多尺度研究
机译:Aerosol Jet技术在MEMS晶圆级封装的直通互连中的应用
机译:用于互连/转换RF MEMS封装的新型凸块CPW凸块结构
机译:具有金属和聚合物键合界面的芯片封装纳米结构铜和镍互连。
机译:基于晶圆级MEMS真空封装的具有全玻璃电互连的高Q共振压力微传感器
机译:基于晶圆级mEms真空封装的具有穿透玻璃电气互连的高Q谐振压力微传感器
机译:微机电系统(mEms)和COTs mEms的互连和封装