机译:使用SiCl_(4)/ Cl_(2)/ Ar基电感耦合等离子体干法刻蚀在GaN中制备低维波导光栅
机译:使用SiCl 4 sub> / Cl 2 sub> / Ar基电感耦合等离子体干法刻蚀在GaN中制备低维波导光栅
机译:用SiCl_4 / Ar电感耦合等离子体刻蚀在InP中制作v形槽光栅
机译:使用SICL / SUB 4 // AR通过电感耦合等离子体(ICP)低偏置电压干法蚀刻INP
机译:激光烧蚀高分辨率电感耦合等离子体质谱(LA-HR-ICP-MS)和高分辨率电感耦合等离子体质谱(HR -ICP -MS)对生物基质的元素分析
机译:不同氟基混合气体使用电感耦合等离子体干法刻蚀钛酸钡薄膜的比较分析
机译:高密度BCL3和BCL3 / AR中的GaAs和Algaas半导体材料的干蚀刻电感耦合等离子体
机译:电感耦合等离子体(ICp)干蚀刻中三氯化硼/氯气体分子外延生长p型氮化铝镓的刻蚀特性及表面分析