一种干法蚀刻设备ICP尾气处理装置

摘要

本实用新型公开了一种干法蚀刻设备ICP尾气处理装置，包括干泵以及与干泵连通的尾气管；所述尾气管上安装有与管内连通的氮气吹扫装置，且在尾气管的管壁上包裹有保温棉；所述尾气管的自由端安装有可拆卸的清理管；所述清理管与洗涤塔相连通。本实用新型的优点：1.把粉尘迅速通过热氮气吹扫至清理管，通过冷凝管路将粉尘集中凝结，并定期处理清理管内凝结固体，保证后端管路通畅。2.尾气管不需管路外壁缠绕加热带进行管路加热，只需要保温棉保温。