電子ビーム真空溶融により合成したScAl 合金スパッタターゲットを用いた高品質ScAlN 薄膜の成長

摘要

AlN 薄膜にSc を添加したScAlN 薄膜の巨大圧電性が報告[1]されて以来，FBAR フィルタなどへの応用研究が盛んに行われている．ScAlN薄膜の圧電性はSc の添加量を増加させることで劇的に増加する．しかし，添加材料であるSc は酸化しやすくスパッタ成膜時に酸素および窒化炭素の高速負イオンが結晶性を劣化させることが指摘されている[2]．我々は，Sc 粒を電子ビーム照射による真空溶解することで酸素を取り除いたScAl 合金ターゲットの作製を試みた．