電子ビーム真空溶融により合成したScAl 合金スパッタターゲットを用いた 高品質ScAlN 薄膜の成長

摘要

AlN 薄膜にSc を添加したScAlN 薄膜の巨大 圧電性が報告[1]されて以来，FBAR フィルタな どへの応用研究が盛hに行われている．ScAlN 薄膜の圧電性はSc の添加量を増加させること で劇的に増加する．しかし，添加材料である Sc は酸化しやすくスパッタ成膜時に酸素およ び窒化炭素の高速負イオンが結晶性を劣化さ せることが指摘されている[2]．我々は，Sc 粒 を電子ビーム照射による真空溶解することで 酸素を取り除いたScAl 合金ターゲットの作製 を試みた．