AZ Electronic Materials USA Corp., Somerville, NJ 08876;
ArF; bottom anti-reflective coatings; B.A.R.C.; immersion; high-NA; low k BARC; dual layer BARC; out-gassing; sublimation;
机译:ArF浸没式光刻技术需要顶级抗反射涂层材料
机译:用于KrF,ArF和F_2光刻的三层底部抗反射涂层的设计
机译:用于193 nm受激准分子激光光刻的新型有机底部抗反射涂料
机译:用于浸入光刻的有机ARF底部抗反射涂层
机译:用于浸没式光刻的水性和有机液体的折射率和吸收率。
机译:通过全晶圆和卷对卷分步闪光纳米压印光刻技术生产的塑料基板单层宽带抗反射涂层
机译:用于DUV光刻的底部抗反射涂层。