学术工具
退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
Wang Kuan; 王宽; Liu Jing-cheng; 刘敬成; Liu Ren; 刘仁; Mu Qi-dao; 穆启道; Zheng Xiang-fei; 郑祥飞; Ji Chang-wei; 纪昌炜; Liu Xiao-ya; 刘晓亚;
中国感光学会;
光刻胶; 光刻技术; 底部抗反射涂层; 碱溶型涂层;
机译:无机底部抗反射涂层可控制纳米级器件在基板/光刻胶界面的反射率
机译:底部抗反射涂层与模型脱保护的光刻胶之间的界面的近边缘X射线吸收精细结构测量
机译:双层抗反射涂层在硅衬底上两层抗反射涂层In2O3 /圆锥形Al2O3和三层抗反射涂层的特性及三层抗反射涂层
机译:影响可显影底部抗反射涂层工艺中光刻胶轮廓的主要因素的研究
机译:毫米/亚颌胶波望远镜新型抗反射涂层的研制及宇宙微波背景仪器的优化
机译:生物降解 - 抗反射肝素涂层输尿管支架的比较评估:动物模型研究
机译:用于ArF光刻胶的光刻胶下层抗反射涂层和间隙填充材料的研究
机译:砷化镓/砷化铝镓太阳能电池多层抗反射涂层的研制。
机译:具有提高的湿剥离速率的底部抗反射涂层,用于形成底部抗反射涂层的底部抗反射涂层组合物及其制造方法
机译:用于形成底部抗反射涂层的聚合物和用于形成底部抗反射涂层的组合物
机译:底部抗反射涂层底部抗反射涂层的新聚合物及其组合物
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。