Delft University of Technology, Charged Particle Optics Group, Delft, 2628 CJ, The Netherlands;
Delft University of Technology, Kavli Institute of Nanoscience, Nanofacility, The Netherlands;
high resolution; electron beam resist; HSQ; electron beam nano-lithography; development process;
机译:利用分流工艺实现用于高分辨率电子束光刻的超薄HSQ抗蚀剂层的实现
机译:使用电子束光刻以HSQ编写的10 nm线和间隔
机译:HSQ / PMMA双层抗蚀剂的电子束光刻技术,用于负色调剥离工艺
机译:使用电子束光刻用超薄HSQ抗蚀剂层写入的亚10-NM结构
机译:聚合物抗蚀剂的电子束感应电导率效应和电子束光刻中的电荷感应电子束偏转模拟。
机译:通过提高精度的电子束光刻覆盖层来制造三维悬浮层间和分层纳米结构
机译:使用电子束光刻技术在超薄HsQ抗蚀剂层中写入的亚10nm结构