Dongjin Semichem Co., Ltd., Electronic Material Division, 625-3, Yodang-ri, Yanggam-myun, Hwasung-si, Kyungki-do, South Korea, 445-930;
ArF resist; PEB sensitivity; activation energy for deprotecting reactions; acid diffusion controller; diffusivity of quencher;
机译:基于聚砜的非CA抗蚀剂,用于193 nm浸没式光刻:提高聚合物吸收率对灵敏度的影响
机译:50 nm化学膜Ag-W-氧在低温,低活化能电阻率衰减前后的特性
机译:生物炭作为活性炭生产的潜在可持续前体:环境保护和储能的多种应用
机译:193 nm浸没式光刻技术的非CA抗蚀剂:化学结构对灵敏度的影响
机译:探索基于溶出抑制剂的非化学放大抗蚀剂,用于193 nm光刻。
机译:预测铂敏感性的遗传变异揭示了MiR-193b *在化学治疗易感性中的作用
机译:用于193 nm浸没式光刻的非CA抗蚀剂:化学结构对灵敏度的影响