机译:DUV化学放大抗蚀剂中的抗蚀剂图案剥离评估
机译:酸增强聚合物:合成,表征以及在环境稳定的化学放大正性(ESCAP)抗蚀剂中的应用
机译:使用UVIII化学放大的DUV抗蚀剂和PMMA制成T形门
机译:基于Diazoketone化学的环境稳定化学扩增DUV抗蚀剂
机译:砷化镓晶片的表面化学研究在化学放大的抗蚀剂构图过程中进行,并通过荧光进行抗蚀剂研究。
机译:通过使用非化学放大的抗蚀剂和曝光后烘烤来制造具有改善的线边缘粗糙度的高分辨率掩模
机译:环境稳定的化学放大抗蚀剂:原理,化学,污染抗性和光刻可行性。
机译:抗蚀剂材料设计:碱催化化学扩增。