AMD Fab36 LLC Co. KG, Wilschdorfer Landstrasse 101, D-01069 Dresden, Germany;
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ring oscillator; mask; ACLV; CD-budget; overlay;
机译:在低热预算0.18μm先进CMOS逻辑工艺中,在200mm p和p / p-晶圆中实现均匀且可靠的固有吸杂
机译:在低热预算0.18μm先进CMOS逻辑工艺中,在200mm p和p / p-晶圆中实现均匀且可靠的固有吸杂
机译:次分辨率功能可均匀化光刻掩模和晶圆上的加热密度变化
机译:屏蔽参数变化在高级逻辑晶片Fab的整体变化预算的上下文中
机译:在各种类型的参数变化的上下文中改进了统计推断的方法
机译:参数变化对原子力显微镜纳米光刻技术制备纳米结构的影响
机译:通过检查优化减少晶片生产线的变化