晶圆支撑系统，晶圆支撑装置，包括晶圆和晶圆支撑装置的系统以及掩模对准器

摘要

一种晶圆支撑系统，具有晶圆支撑装置(16)和切割框架(14)，其中晶圆支撑装置(16)具有底板(26)和顶板(28)。顶板(28)包括用于支撑晶圆(12)的支撑表面(34)，并且底板(26)具有大于顶板(28)的最大直径(dt)的最大直径(db)，使得底板(26)包括用于切割框架(14)的储存部(32)。切割框架(14)具有限定中心孔(20)的板状形状，其中中心孔(20)的最小直径(dh)大于顶板(28)的最大直径(dt)，使得切割框架(14)下沉到晶圆(12)的上表面和/或支撑表面(34)的下方。此外，提供了晶圆支撑装置(16)，晶圆支撑系统(18)和掩模对准器。