首页> 外文OA文献 >Variation reduction in a wafer fabrication line through inspection optimization

【2h】

Variation reduction in a wafer fabrication line through inspection optimization

机译：通过检查优化减少晶片生产线的变化

代理获取

本网站仅为用户提供外文OA文献查询和代理获取服务，本网站没有原文。下单后我们将采用程序或人工为您竭诚获取高质量的原文，但由于OA文献来源多样且变更频繁，仍可能出现获取不到、文献不完整或与标题不符等情况，如果获取不到我们将提供退款服务。请知悉。

页面导航

摘要
著录项
引文网络
相似文献
相关主题

摘要

by John W. Bean.

机译：约翰·比恩（John W.

著录项

作者
Bean John W. (John Wellard);
展开▼
作者单位

展开▼
年度 1997
总页数
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. Standard wafer with programed defects to evaluate the pattern inspection tools for 300-mm wafer fabrication for 7-nm node and beyond [J] . Susumu lida, Takamitsu Nagai, Takayuki Uchiyama Journal of microanolithography, MEMS, and MOEMS . 2019,第2期

机译：具有已编程缺陷的标准晶圆，可评估用于7纳米及以上节点的300毫米晶圆制造中的图案检查工具
2. A new strategy for defect inspection by the virtual inspection in semiconductor wafer fabrication [J] . Jason Chao-Hsien Pan, Damon HE Tai Computers & Industrial Engineering . 2011,第1期

机译：在半导体晶圆制造中通过虚拟检查进行缺陷检查的新策略
3. The efficiency of inspection based on out of control detection in wafer fabrication [J] . Israel Tirkel Computers & Industrial Engineering . 2016,第sepa期

机译：晶圆制造中基于失控检测的检查效率
4. Optimization of an Integrated and Automated Macro Inspection System for the Utilization of Wafer Color Variation Detection in a Photolithography Cluster [C] . Stephen J. Lickteig, Thomas W. Forstner, Anthony R. Barnett, Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XX pt.2 . 2006

机译：利用光刻集群中晶片色差检测的集成自动宏观检测系统的优化
5. A method for target scheduling of semiconductor wafer fabrication based on event-based optimization modeling and discrete event simulation. [D] . Kang, Jeenyoung. 1996

机译：一种基于事件优化模型和离散事件仿真的半导体晶圆制造目标调度方法。
6. Optimized decellularization protocol including α-Gal epitope reduction for fabrication of an acellular porcine annulus fibrosus scaffold [O] . Lien-Chen Wu, Yi-Jie Kuo, Fu-Wen Sun, -1

机译：优化的脱细胞方案包括α-Gal表位还原用于制备脱细胞猪纤维环支架
7. THE EFFECTIVENESS OF VARIABILITY REDUCTION IN DECREASING WAFER FABRICATION CYCLE TIME [O] . M. E. Kuhl, Israel Tirkel 2015

机译：降低叶片制造循环时间的可变性降低的有效性

Variation reduction in a wafer fabrication line through inspection optimization

摘要

著录项

引文网络

相似文献

相关主题

期刊订阅