University of Technology Munich, Boltzmannstr.3, 85748 Garching, Germany;
Advanced Mask Technology Center Dresden, Raehnitzer Allee 9, 01109 Dresden, Germany;
AMD Saxony LLD, Wilschdorfer Landstrasse 101, 01109 Dresden, Germany;
registration; overlay; correlation analysis; specifications;
机译:预测电子投影光刻掩模膜图像放置误差
机译:通过吸盘评估在电子投影光刻掩模中引起的图像放置误差
机译:解决能源预测错误:对变量存储中容量分布影响的实证研究
机译:解决曝光过程中掩模放置误差传递的实证方法
机译:校正策略以补偿在EUVL掩模卡盘过程中引起的图像放置错误。
机译:基于可穿戴惯性传感器的定量方法用于评估和识别模拟c脊柱受伤患者的转移训练中使用的技术中的运动和错误
机译:从自愿临床方法转移到一种解决屈光误差的公共卫生方法的理由
机译:建模主动信标避碰系统(BCas)测量误差:一种经验方法