6H-SiC(11-20)外延多层石墨烯性能研究

摘要

本文系统研究了6H-SiC(11-20)外延多层石墨烯的性能。通过热分解6H-SiC(11-20)得到多层石墨烯，并利用原子力显微镜和拉曼图谱表征其形貌、褶皱分布和非谐声子效应。实验发现外延石墨烯(EG)褶皱的平均高度为5nm，跟SiC台阶高度差不多。多层EG的非谐声子效应与无衬底的自由石墨烯类似，而2～3的EG表现出了与衬底祸合的界面声子效应。由此可以看出，对于多层EG，衬底对石墨烯的影响很小，而且石墨烯层间的相互作用也很弱。