稀土Eu掺杂改性的PbZr<,0.52>Ti<,0.48>O<,3>铁电薄膜

摘要

本文报道了稀土金属Eu掺杂的PbZr<,0.52>Ti<,0.48>O<,3>(PEZT)铁电薄膜的溶胶-凝胶制备及其铁电性能研究.通过优化掺杂剂的含量,获得了具有优良铁电性能的沉积于Pt/Ti/SiO<,2>/Si衬底上的PEZT薄膜.其剩余极化值达40μC/Cm<'2>,漏电流为2×10<'-10>A/cm<'2>(在250kV/cm电场下测得),极化疲劳特性明显改善(经过10<'9>次极化翻转后,剩余极化值仅减少15﹪)等.初步分析了Eu掺杂改性机理.