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陈绍凤;
中国电子学会;
压力传感器;
机译:基于碳纳米管阵列的真空微电子压力传感器的研究
机译:新型真空微电子压力传感器的制造
机译:用于齿轮齿面接触压力分布测量的薄膜压力传感器的研制(引线膜共用多点压力传感器的压力分布测量)
机译:用于电子设备的聚合物基压力传感器的研制
机译:具有纳米场发射尖端的新型混合集成高精度真空微电子加速度计
机译:紧凑型微波离子源在真空微电子器件过渡金属氮化物薄膜低温生长中的应用
机译:用于低频和动态压力测量的压电聚合物薄膜压力传感器的研制
机译:低成本,高包装,无肉类金属小包装的低成本真空包装薄膜装置的研制
机译:薄膜纳米和微电子系统的应变片式压力传感器
机译:薄膜模零以生产电容模具薄膜绝对压力传感器,电阻模具薄膜绝对压力传感器和电容模具绝对压力传感器
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