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一种新型的振子—框架式微机械陀螺

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本文介绍了一种简单而新颖的振子-框架式微机械陀螺.对陀螺驱动特性和检测阻尼特性的分析表明,利用梳状叉指的侧向静电线驱动可获得较大的驱动幅度,利用检测端内框架和衬底之间较小的压膜阻尼效应,可提高检测模式的Q值,增大陀螺的灵敏度.同时介绍了陀螺制作的工艺流程.

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来源
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》|2000年|164-166|共3页
会议地点上海
作者
陈(); 王渭源;
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作者单位

上海交通大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类理论;
关键词
深反应离子刻蚀; 微机械陀螺; 驱动特性; 阻尼特性;

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