振子框架式微机械陀螺的有限元模拟

摘要

利用有限元方法 ,研究振子框架式微机械陀螺主要几何尺寸对其固有频率的影响。根据陀螺驱动模态频率和检测模态的频率匹配 ,优化了陀螺的结构尺寸 ,并为结构改进和制备工艺提供理论指导。