石英微机械振动陀螺振子的失效分析

摘要

微机械惯性器件是振动惯性技术和微电子技术相结合的产物，是振动惯性技术的延伸和发展，这就决定了该器件具有价格低、可靠性高、尺寸小和质量轻等突出特点。目前，它已成为经济发达国家研究的热点，也开始引起国内外惯性技术界的高度重视。