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振子框架式微机械陀螺的优化设计及电学模拟

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摘要

根据驱动模态频率和检测模态的频率相互匹配,用有限元法优化了振子框架式微机械陀螺的结构尺寸;根据建立的陀螺振动的等效电路模型,对检测振动的性能进行了模拟分析,该模型为传感器与接口电路的整体模拟打下了基础.

著录项

来源
《航空学报》 |2002年第3期|211-214|共4页
作者
车录锋; 熊斌; 王跃林;
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作者单位

中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050;

中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050;

中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类陀螺仪表;陀螺力学（回转仪理论）;结构振动;
关键词
微机械陀螺; 优化设计; 等效电路模型; 模拟;

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