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真空微电子压力传感器研究

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主要在研究真空微电子场致发射理论基础上;提出了台阶阵列、阴极-敏感薄膜新的机制;进行了计算机模拟场致发射计算和敏感薄膜厚度的模拟计算;进行了封装测试等工作;并且已经研制出真空微电子硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极的压力传感器,进行了实物的场致发射输出电流的测试和敏感薄膜压力特性的测试.

著录项

来源
《第五届全国微米/纳米技术学术会议》|2001年|294-296|共3页
会议地点重庆
作者
陈绍凤; 夏善红; 白强; 张建刚;
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作者单位

国家自然科学基金委员会;

科技部;

解放军总装备部;

清华大学;

重庆大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类电真空器件制造工艺;
关键词
真空微电子; 场致发射; 台阶阵列; 敏感膜; 压力特性; 压力传感器;
入库时间 2022-08-17 10:21:37

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