浸没式ArF光刻最新进展

摘要

本文简单概述了浸没式ArF的发展历史、特点和面临的科学技术问题，在跟踪报道国内外最新研究进展的同时，介绍前沿光刻技术的研发特点和研究手段，强调协同设计研究的重要地位，并揭示浸没式hrF光刻不是干式ArF光刻的简单移置和延续。