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SAWING APPARATUS OF SUBSTRATE FOR SEMICONDUCTOR PACKAGE AND METHOD THEREOF TO IMPROVE SAWING EFFICIENCY

机译:用于半导体包装的基质的锯切装置及其提高锯切效率的方法

摘要

PURPOSE: A sawing apparatus of a substrate for a semiconductor package and a method thereof are provided to maximize sawing efficiency by using an X-axis and a Y-axis sawing parts. CONSTITUTION: A sawing apparatus of a substrate for a semiconductor package includes an X-axis sawing part, a Y-axis sawing part, and an adsorption part. The X-axis sawing part includes at least one pair of rails for moving a plurality of substrates to an X-axis direction and a plurality of first blades for sawing simultaneously two X-axis lines of each substrate. The Y-axis sawing part(120) includes a plurality of second blades(124) for sawing simultaneously Y-axis lines of each substrate.
机译:目的:提供一种用于半导体封装的基板的锯切设备及其方法,以通过使用X轴和Y轴锯切部件来最大化锯切效率。构成:一种用于半导体封装的基板的锯切设备,包括:X轴锯切部,Y轴锯切部和吸附部。 X轴锯切部包括:至少一对用于使多个基板沿X轴方向移动的导轨;以及多个第一刀片,其用于同时锯切每个基板的两条X轴线。 Y轴锯切部(120)包括用于同时锯切每个基板的Y轴线的多个第二刀片(124)。

著录项

  • 公开/公告号KR20040098310A

    专利类型

  • 公开/公告日2004-11-20

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 AMKOR TECHNOLOGY KOREA INC.;

    申请/专利号KR20030030624

  • 发明设计人 YOO HYEONG GEOL;

    申请日2003-05-14

  • 分类号H01L21/78;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-21 22:06:33

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