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TEMPLATE FOR FORMING SOLDER BUMPS, METHOD OF MANUFACTURING THE TEMPLATE AND METHOD OF INSPECTING SOLDER BUMPS USING THE TEMPLATE

机译:用于形成焊料凸块的模板,制造该模板的方法以及使用该模板检查焊料凸块的方法

摘要

A template for forming solder bumps includes a transparent substrate on which a plurality of cavities is formed at surface portions thereof, and an opaque layer formed on the transparent substrate and having a plurality of openings to expose the cavities. Thus, the transparent substrate is prevented from being damaged by a nozzle for injecting a molten solder while injecting the molten solder in the cavities and the openings. The solder bumps formed in the cavities and the openings may be inspected by analyzing light transmitted through edge portions of the cavities.
机译:用于形成焊料凸块的模板包括:透明基板,其表面部分上形成有多个空腔;以及不透明层,该不透明层形成在透明基板上并且具有多个开口以暴露空腔。因此,防止了在将熔融焊料注入到腔室和开口中的同时,透明基板被用于注入熔融焊料的喷嘴损坏。可以通过分析透射穿过空腔的边缘部分的光来检查形成在空腔和开口中的焊料凸块。

著录项

  • 公开/公告号WO2009088123A1

    专利类型

  • 公开/公告日2009-07-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 SECRON CO. LTD.;PARK PIL-GYU;

    申请/专利号WO2008KR01971

  • 发明设计人 PARK PIL-GYU;

    申请日2008-04-08

  • 分类号H01L21/60;

  • 国家 WO

  • 入库时间 2022-08-21 19:17:51

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