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WAFER DICING BLADE AND WAFER DICING APPARATUS INCLUDING THE SAME

机译:晶圆切割刀片和晶圆切割设备,包括相同的

摘要

A wafer dicing blade includes a cutting part including a protrusion, the protrusion having a uniform region with a substantially uniform width, and a support covering at least one sidewall of the cutting part, the protrusion of the cutting part extending beyond an edge of the support.
机译:晶片切割刀片包括:切割部分,其包括突起;所述突起具有宽度基本均匀的均匀区域;以及支撑件,其覆盖所述切割部分的至少一个侧壁;所述切割部分的突起延伸超过所述支撑件的边缘。 。

著录项

  • 公开/公告号US2012009026A1

    专利类型

  • 公开/公告日2012-01-12

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 YOUNG-JA KIM;JUNYOUNG KO;

    申请/专利号US201113177167

  • 发明设计人 YOUNG-JA KIM;JUNYOUNG KO;

    申请日2011-07-06

  • 分类号B26D1/12;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 17:32:38

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