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FABRICATION OF SEAMLESS LARGE AREA MASTER TEMPLATES FOR IMPRINT LITHOGRAPHY USING STEP AND REPEAT TOOLS

机译:使用步进和重复工具制造无缝大面积模板以进行光刻的光刻

摘要

Described are methods of forming large area templates useful for patterning large area optical devices including e.g. wire grid polarizers (WGPs). Such methods provide for seamless patterning of such large area devices.
机译:所描述的是形成大面积模板的方法,该方法可用于构图大面积的光学器件,包括例如图3所示的光学器件。线栅偏振器(WGPs)。这样的方法提供了这种大面积设备的无缝图案化。

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