首页> 外国专利> SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR PRODUCING A GLASS-LIKE LAYER

SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR PRODUCING A GLASS-LIKE LAYER

机译:用于生产玻璃状层的半导体装置和方法

摘要

A method for producing a glass-like layer (3) on a substrate, e.g. a power semiconductor substrate (1), is disclosed. The method comprises the deposition of a glass-like layer vapor-deposited material with plasma-assisted electron beam evaporation. An electronic component can be produced using this method.
机译:一种在例如玻璃基板上制造玻璃状层(3)的方法。公开了一种功率半导体衬底(1)。该方法包括利用等离子体辅助电子束蒸发来沉积玻璃状层的气相沉积材料。可以使用该方法来制造电子部件。

著录项

  • 公开/公告号KR20140143214A

    专利类型

  • 公开/公告日2014-12-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 MSG LITHOGLAS GMBH;

    申请/专利号KR20147030616

  • 发明设计人 MAUS SIMON;HANSEN ULLI;

    申请日2013-04-02

  • 分类号H01L21/31;H01L21/02;H01L21/316;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-21 15:01:27

相似文献

  • 专利
  • 外文文献
  • 中文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号