公开/公告号KR20150007287A
专利类型
公开/公告日2015-01-20
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号KR20147029221
发明设计人 REILLY PATRICK;SHAIKH SHAHID;SUMMAN TERSEM;PADHI DEENESH;BALUJA SANJEEV;ROCHA ALVAREZ JUAN CARLOS;NOWAK THOMAS;KIM BOK HOEN;WITTY DEREK R.;
申请日2013-04-09
分类号H01L21/205;H01L21/3065;C23C16/44;C23C16/48;C23C16/52;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 15:00:51