公开/公告号CN109642312B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-01-01
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201780050740.8
申请日2017-07-26
分类号C23C14/06(20060101);C23C14/35(20060101);C23C14/34(20060101);H01J37/34(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国;赵静
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 11:27:23
机译: 高密度,低应力非晶碳膜及其沉积工艺和设备
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