磁控溅射沉积不同掺杂非晶碳膜的摩擦学特性研究

摘要

采用磁控溅射技术制备了无掺杂及掺杂Cr,WC的3种非晶碳膜,通过SEM和XRD对薄膜进行了微观形貌观察及物相分析,利用多功能材料表面性能测试仪测定了薄膜的临界破坏载荷,利用HSR-2M摩擦磨损试验机测试了薄膜在乏油环境下的摩擦学性能,并对试验后的薄膜进行了微观分析。结果表明:在乏油环境下,3种碳膜具有较低的摩擦因数和良好的抗磨性能,随着滑动速度的提高,3种非晶碳膜的摩擦因数逐渐降低;掺杂Cr提高了薄膜的磨损寿命;掺杂WC降低了薄膜与基体的临界破坏载荷及薄膜的磨损寿命。