不同湿度下Cr离子注入非晶碳膜的摩擦学性能研究

摘要

对利用直流磁控溅射技术在单晶硅表面制备的非晶碳膜进行了Cr离子注入,通过拉曼光谱、X射线光电子能谱和原子力显微镜对其结构和形貌进行了考察,在DF-PM动摩擦系数精密测定仪上测定了载荷3N、不同湿度下薄膜的摩擦性能.结果表明,经过离子注入的非晶碳膜更趋于无序化,sp<'3>含量增多.反应型注入离子Cr在较大离子注入剂量时能够形成Cr-C化合物,使非晶碳膜的脆性增大,磨损形式发生变化.Cr离子的注入提高了非晶碳膜的耐磨寿命,改善了高湿度下非晶碳膜的摩擦性能.