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机译:通过等离子体增强化学气相沉积在室温下生长的非晶氮化碳膜的光学,机械和蚀刻特性
Carbon nitride; PECVD; Hardness; Optical absorption; Etch behavior;
机译:通过等离子体增强化学气相沉积在室温下生长的非晶氮化碳膜的光学,机械和蚀刻特性
机译:退火温度对表面波微波等离子体化学气相沉积法生长的氮化非晶碳薄膜的光学,键合,结构和电性能的影响
机译:退火温度对表面波微波等离子体化学气相沉积法生长的氮化非晶碳薄膜的光学,键合,结构和电性能的影响
机译:等离子体增强化学气相沉积的计量和光学表征,(PECVD),低温沉积无定形碳膜
机译:通过聚合物源化学气相沉积合成的非晶碳化硅和碳氮化硅薄膜的表征。机械结构和金属界面性能
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:通过等离子体增强化学气相沉积和等离子体浸没离子注入和沉积获得的非晶态碳质薄膜的光学,机械和表面特性