公开/公告号US9472446B2
专利类型
公开/公告日2016-10-18
原文格式PDF
申请/专利号US201414307902
申请日2014-06-18
分类号H01L21/336;H01L21/762;H01L29/78;H01L29/66;H01L29/51;H01L29/10;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/308;H01L21/84;H01L21/8238;H01L21/8234;
国家 US
入库时间 2022-08-21 14:34:12