机译:图案形成方法,用于图案形成方法的用于多重显影的抗蚀剂组合物,用于图案形成方法的用于负显影的显影剂以及用于图案形成方法的用于负显影的冲洗液
公开/公告号US2016349619A1
专利类型
公开/公告日2016-12-01
原文格式PDF
申请/专利权人 FUJIFILM CORPORATION;
申请/专利号US201615232872
申请日2016-08-10
分类号G03F7/32;G03F7/40;G03F7/038;G03F7/16;G03F7/20;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:45:33