机译:图案形成方法,用于图案形成方法的用于多次显影的抗蚀剂组合物,用于图案形成方法的用于负显影的显影剂,以及用于图案形成方法的用于负显影的冲洗液
公开/公告号US9291904B2
专利类型
公开/公告日2016-03-22
原文格式PDF
申请/专利权人 FUJIFILM CORPORATION;
申请/专利号US201414549164
申请日2014-11-20
分类号G03F7/20;G03F7/30;G03F7/32;G03F7/039;G03F7/40;
国家 US
入库时间 2022-08-21 14:30:27