公开/公告号US9496187B2
专利类型
公开/公告日2016-11-15
原文格式PDF
申请/专利号US201314084636
发明设计人 ZHIHONG MAI;YAMIN HUANG;MOHAMMED KHALID BIN DAWOOD;PIK KEE TAN;TSU HAU NG;JEFFREY CHOR-KEUNG LAM;
申请日2013-11-20
分类号B24B41/06;H01L21/66;B24B49/12;G01N1/32;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:42:33