一种硅MEMS压阻式加速度传感器

摘要

本发明公开了一种硅MEMS压阻式加速度传感器，它属于微机械传感器领域。本发明包括硅框架、质量块、压敏电阻，质量块位于硅框架中，在质量块的左右两侧和硅框架之间设置有互相对称的敏感梁，在质量块的前后两侧中心位置和硅框架之间设有一对对称的扭转梁；所述扭转梁X方向的宽度小于质量块X方向的宽度，扭转梁Z方向的高度大于敏感梁Z方向的高度，所述敏感梁上制作有检测应力大小的压敏电阻。本发明所述的压阻式加速度传感器，是一种利用制作在结构的上表面的压敏电阻来测量横向加速度信号的微传感器，提高了电阻的加工精度、一致性和成品率，并易于实现三轴集成，还具有体积小、质量轻、交叉耦合小、可靠性高、成本低和易于集成的特点。