机译:微型绝缘体上硅MEMS压阻式压力传感器的计算机辅助建模
Micro electro mechanical system (MEMS); finite element analysis (FEA); stacked diaphragm; sensitivity;
机译:微型绝缘体上硅MEMS压阻式压力传感器的计算机辅助建模
机译:微型绝缘体上硅MEMS压阻压力传感器的计算机辅助建模
机译:高灵敏度绝缘体上硅压力传感器的计算机辅助建模和膜片设计方法
机译:用于CMOS-MEMS集成的硅MEMS压阻式压力传感器的SPICE兼容热模型的开发
机译:柔性基板上的MEMS压阻式压力传感器,采用镍铬合金和CNT /聚酰亚胺纳米复合材料作为压阻器。
机译:基于临时键合技术的新型压阻MEMS压力传感器
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机译:微型压阻式固态集成压力传感器