公开/公告号CN101916728B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-05-30
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;上海新傲科技股份有限公司;
申请/专利号CN201010231665.5
申请日2010-07-20
分类号
代理机构上海光华专利事务所;
代理人王松
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2022-08-23 09:10:05
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-09
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/336 授权公告日:20120530 终止日期:20180720 申请日:20100720
专利权的终止
2012-05-30
授权
授权
2012-05-30
授权
授权
2011-02-02
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/336 申请日:20100720
实质审查的生效
2011-02-02
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/336 申请日:20100720
实质审查的生效
2010-12-15
公开
公开
2010-12-15
公开
公开
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