公开/公告号CN101593669B
专利类型发明专利
公开/公告日2011-07-06
原文格式PDF
申请/专利权人 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;
申请/专利号CN200810113999.5
申请日2008-05-30
分类号
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人李丽
地址 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道18号
入库时间 2022-08-23 09:07:10
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-07-06
授权
授权
2010-01-27
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-12-02
公开
公开
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