在化学气相沉积系统中绕过阻滞板分配气体

摘要

本发明公开了一种用于将气体分配到处理室的装置和方法。在一个实施例中，该装置包括具有多个贯通设置的孔的气体分配板和具有多个贯通设置的孔和多个设置在其中的馈通通道的阻滞板。第一气体路径将第一气体输送通过在阻滞板中的多个孔和气体分配板。旁路气体路径将第二气体输送通过阻滞板中的多个馈通通道并且在第二气体流经气体分配板之前输绕过阻滞板输送到区域中。