金属有机化学气相沉积装置、气体喷淋组件及其气体分配的控制方法

摘要

本发明涉及一种金属有机化学气相沉积装置、气体喷淋组件及其气体分配的控制方法，所述气体喷淋组件包括第一进气管路、第二进气管路和第三进气管路，用于分别将第一气体、第二气体和第三气体传输至气体分配单元，所述气体分配单元为一体成型的单层结构，所述气体分配单元包括间隔设置的A型气体分配腔，B型气体分配腔和C型气体分配腔，分别用于分配所述第一气体、第二气体和第三气体，且所述间隔设置在水平面与垂直面截面皆为连续迂回截面。本发明使得可以调节两种反应气体的气体分配腔的数量，在单一反应单元内实现了多种材料生长。本发明分配单元为一体成型的单层结构，避免了多层、多点焊接的复杂加工，极大降低了制造成本。