利用多层基板固定器的批量生产型薄膜蒸镀装置

摘要

本发明的目的在于，提供利用多层基板固定器的批量生产型薄膜蒸镀装置，其能够通过一次工序对大量的大型基板进行蒸镀，容易大量生产。该装置包括：多层基板固定器安装室(MSSHR)，其安装有用于真空的薄膜的蒸镀的多个基板；多层基板固定器(MSSH)，其固定从上述多层基板固定器安装室安装的上述基板；直线移送驱动部(MUML)，其配备在上述多层基板固定器(MSSH)的一侧，以向蒸镀移送驱动部(SHMU)装载上述基板固定器，所述蒸镀移送驱动部(SHMU)用于从上述多层基板固定器(MSSH)抽出基板固定器，向用于进行薄膜蒸镀的基板蒸镀待机室(LSCS)移送；以及薄膜蒸镀腔室(CMS)，其对装载在上述蒸镀移送驱动部(SHMU)的上述基板进行蒸镀作业。