＜MOCD装置＞大腸日酸が、名古屋工業大学「窒化物半導体ビジネス創生センター」に世界長大の量産型GaN－MOCVD装置納入

摘要

大陽日酸は、名古屋工業大学と「大口径シリコンウエハー上に窒化ガリウムエピタキシャル成長技術及びデバイス評価技術に関する研究」の共同研究契約を締結した。同社はこの共同研究契約に沿って、同大学に今秋、設置された「窒化物半導体マルチビジネス創太陽電池などまで多様なデバイス展開への道が開かれたといわれており、窒化ガリウムの将来展開への広がりが期待できる（図）。