公开/公告号CN101183665B
专利类型发明专利
公开/公告日2010-06-09
原文格式PDF
申请/专利权人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;
申请/专利号CN200610118300.5
发明设计人 洪中山;
申请日2006-11-13
分类号
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人逯长明
地址 201203 上海市浦东新区张江路18号
入库时间 2022-08-23 09:04:47
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-12-21
专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/8247 变更前: 变更后:
专利申请权、专利权的转移
2010-06-09
授权
授权
2008-07-16
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-05-21
公开
公开
机译: 非易失性硅/氧化物/氮化物/硅/氮化物/氧化物/硅存储器
机译: 非易失性硅/氧化物/氮化物/硅/氮化物/氧化物/硅存储器
机译: 非易失性硅/氧化物/氮化物/硅/氮化物/氧化物/硅存储器