检验相移光掩模的相移角的方法、光刻工艺与相移光掩模

摘要

一种检验相移式光掩模的相移角的方法。首先，取得一类型的相移式光掩模的相移角对应一工艺能力特征值的校正曲线。接着，将待检验的该类型相移式光掩模的图案转移至一光致抗蚀剂层上以形成光致抗蚀剂图案，并测量上述工艺能力特征值。然后依照上述校正曲线，由该工艺能力特征值推得该相移式光掩模的实际相移角，以供检验。