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机器人的机械手及使用该机械手的工件搬送机器人

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本发明提供一种在搬送在高温环境下进行处理的玻璃基板等工件时可高效且均匀地对机械手进行冷却、且与现有技术相比结构较轻的机械手及使用该机械手的工件搬送机器人。本发明的机器人的机械手包括：形成为具有与外部隔绝的中空部(11a)的形状、且用于承载工件的承载部(11)；将冷却介质导入承载部(11)一端侧的中空部(11a)的介质导入管(15)；以及从承载部(11)另一端侧的中空部(11a)排出冷却介质的介质排出口(17)。

著录项

公开/公告号CN1939675B

专利类型发明专利
公开/公告日2010-05-12

原文格式PDF
申请/专利权人日本电产三协株式会社;
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申请/专利号CN200610141626.X
发明设计人竹内靖典;矢泽隆之;
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申请日2006-09-28
分类号B25J1/04(20060101);B25J15/00(20060101);
代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;
代理人方晓虹
地址日本长野县
入库时间 2022-08-23 09:04:15

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2010-05-12

授权

授权
2008-11-19

实质审查的生效

实质审查的生效
2007-04-04

公开

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