聚合物或抗蚀剂图案、以及金属膜图案、金属图案和使用图案的塑料模具及其制造方法

摘要

一种在基板上制造聚合物或抗蚀剂图案的方法，包括在基板上涂敷光敏聚合物或抗蚀剂以形成聚合物或抗蚀剂层，确定聚合物或抗蚀剂层需要曝光的部分，将光调节层放置在照射于聚合物或抗蚀剂层上的光的光路上，并调节光调节层以调节照射于聚合物或抗蚀剂层上的光的方向或强度。根据该方法，通过在实行光刻工艺时调节入射光的方向和强度，很容易制造分别具有三维结构的聚合物或抗蚀剂图案、金属膜图案、金属图案结构以及聚合物模具，所述结构具有多种斜度或形状。